Technical Literature

■加工法の比較

加工名称	スルーフィード加工	インフィード加工
切り込み方向	ワークに対して平行	ワークに対して垂直
クラック進展	ワークに対して平行（極浅）	ワークに対して垂直（深い）
表面品質	ひずみ層が小さい	ひずみ層が大きい
素材表面品質	良好	切り込み速度に依存
切り込み速度	0.1μm〜10μm/pass	600μm/min
切り込み方式	ウエハー側にZ軸を設置	スピンドル軸の上下運動
除去能率mm3/s	低い	高い
送り方式	LMガイド（エアスライダー） 定圧送り機構	ボールネジによる強制送り機構
加工精度	1μm以内/φ100mm	2μm以内/φ100mm
吸着方式	多孔質セラミックス真空チャック	多孔質セラミックス真空チャック

■材料から見る最適研削機構

• 寸法精度を確保するためには→定寸機構
• 仕上げ面粗度を向上させるためには→定寸機構
• 砥石の能力を最大限に発揮させるためには→定力機構
• ドレスタイミングの判断には→定力機構
• 最適加工条件を見出すためには→定力機構

定トルクインフィード研削研磨盤	定力スルーフィード平面研削盤
ナノテム特殊ダイヤモンド砥石を最大限に活用でき、研削・ラップ・ポリッシュを可能にする多機能機です。省スペース・効率化、さらに次工程にやさしい加工を実現し、製品の精度向上に直結する結果を引き出します。	サファイア、アルチック、アルミナ等の基板研削に最適。新開発の定力送り機構を採用し、研削状態に合わせて定力で砥石を送ることで、砥石の研削能力を100％引き出すことを可能にしました。