解説
- 研削に必要な「力」が大きな面積に分散し消費されるのではなく、砥粒一つ一つに確実に分担されるような砥石形状設計（砥石面とワークとの効率的な接触形状を実現）。ワークに対し「ナイフ」ではなく、「のこぎり」のように作用し、細目番手でも高能率に研削。
- 中心に孔を持つエレメントの採用により、研削液の運搬作用が増し、研削点での冷却、研削くずの排出効率が増加。
- 特殊焼成法の採用により多数の気孔を有する砥石となり、目詰まりしにくい。
材料から見る最適研削機構
- 既存の機械
- 工具の能力、材料の特質に関係ない強制駆動
強制送りから定圧送りへ
加工法の比較
| 加工名称 | スルーフィード加工 | インフィード加工 |
|---|---|---|
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| 切り込み方向 | ワークに対して平行 | ワークに対して垂直 |
| クラック進展 | ワークに対して平行（極浅） | リークに対して垂直（深い） |
| 表面品質 | ひずみ層が小さい | ひずみ層が大きい |
| 素材表面品質 | 良好 | 切り込み速度に依存 |
| 切り込み速度 |
0.1μm〜10μm/pass ∴1s/pass max 0.5μm〜300μm/min |
600μm/min |
| 切り込み方式 | ウエハー側にZ軸を設置 | スピンドル軸の上下運動(スピンドルの回転振動が問題) |
| 送り速度 m/min | 任意 | 2.5m〜30m/min |
| 送り方式 | LMガイド（エアスライダー）定圧送り機構 | ボールネジによる強制送り機構 |
| 加工精度 | 良好（1μm以内/φ100mm）表面うねりなし | (2μm以内/φ100mm)表面うねりを生じる |
| 吸着方式 | 多孔質セラミックス真空チャック | マグネット及び同心穴付き真空チャック |
ナノテムVer.0(特殊研磨装置)
用途
- 青色発光ダイオード
- サファイア基板
- ガリ砒素
- ダイヤモンド薄膜等