大型ガラス基板加工用研削盤 NRG2000
- ナノテムのダイヤモンド砥石はポーラス（有気孔構造）のため水・エアーの出入れが可能
- ワークとダイヤモンド砥石の距離を制御。ワークの表面状態をコントロールします
- 左軸にカップ砥石、右軸にストレート砥石を装着。平面および曲面を自在に加工可能
- ポーラスチャック表面をセルフカットした後、ワークを吸着固定。高精度な加工を実現
NRG2000は特殊ダイヤモンド砥石と大型ポーラスチャックの製造技術と共に、これまでに培ってきたナノテム独自の次世代型研削技術開発の達成であり、大型化の一途をたどるフラットパネルディスプレイ業界への加工ソリューションを提供します。
特殊ダイヤモンド砥石の特徴は、ダイヤモンド部がコア部分に比べて結合度が高いことです。被加工物をを押し付けるとコア部のほうが早く磨耗します。およそ10ミクロン程度ダイヤ部が高くなり（ダイヤモンドの粒径に依存）、被加工物は常にダイヤと接触することになります。ダイヤモンドのパターンニングにより、ワークに対する分担荷重を高め、砥石の能率を最大限に引き出すことが可能です。
特殊ダイヤモンド砥石
特殊ダイヤモンド砥石は、40%以上の気孔を有する多孔体で、内部からの水・エアーを供給することで、ワーク表面状態をコントロールできます。また、ワークのダメージ低減により次工程の短縮化、製品の精度向上を実現できます。
ポーラスチャック
特殊ダイヤモンド砥石は、40%以上の気孔を有する多孔体で、内部からの水・エアーを供給することで、ワーク表面状態をコントロールできます。また、ワークのダメージ低減により次工程の短縮化、製品の精度向上を実現できます。
次世代型研削技術開発を実現
| ポーラスチャック | カップ砥石 （左軸） |
ストレート砥石 （右軸） |
|
|---|---|---|---|
| 外形サイズMax | 1400x1600x40t | φ450 | φ400 |
| 回転数Max （rpm） |
50 | 2000 | 2000 |
| 回転機構 | モーター +クロスローラー |
モーター +アンギュラベアリング |
モーター +アンギュラベアリング |
| モーター出力 連続（kW） |
7.5 | 7.5 | 3.7 |
| モーター出力 30分定格（kW） |
11 | 11 | 5.5 |
| X軸ストローク （mm） |
- | 1200 | 1200 |
| X軸送り速度Max （mm/min） |
- | 5000 | 5000 |
| Z軸ストローク （mm） |
- | 550 | 550 |
| 水出し機構 | 有り | 有り | 有り |
| 真空機構 | 有り | 有り | 有り |
| AIR出し機構 | 有り | 有り | 有り |
| 最大研削外径 （mm） |
- | 2300 | 2400 |
| 送り分解能X軸 （μm） |
- | 0.1 | 0.1 |
| 送り分解能Z軸 （μm） |
- | 0.1 （リニアスケール有り） |
0.1 （リニアスケール有り） |
| 機械総重量 | 21,000kg | ||
| 制御方式 | FUNAC 18i MODEL BTシリーズ | ||
| クーラントタンク | 容量 190リットル | ||
| 備考 | ワーク重量 3ton （20rpm） |
- | - |
※仕様はご相談により変更可能です。
用途
●フォトマスク用合成石英ガラス基板 ●液晶ディスプレイ用マザーガラス ～G6クラス ●ソーダライムガラス（青板）